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新华网南京6月29日电(记者杨绍功)28日,位于苏州吴江的博众精工子公司苏州博众仪器科技有限公司,发布了自主研发的首台商用200kV场发射透射电子显微镜—— “BZ-F200”。作为博众“五年磨一剑”的创新成果,这款透射电镜性能对标国际先进产品,彰显了企业的创新能力。
高端透射电镜核心零部件长期被国外技术封锁,行业产品几乎都来自国外仪器公司。博众仪器多年来持续开展技术攻关,陆续实现了热场电子枪、超高稳定度电源、热场电子源、精密加工镜筒、纳米级测角台等核心零部件的自主生产,并在得到了长期验证。
博众仪器科技有限公司总经理唐爱权表示,经过五年的技术攻关与反复锤炼,从整机产品到每一个关键零部件,博众仪器已把高端透射电镜全链条核心技术牢牢掌握在自己手中。BZ-F200透射电镜将在材料科学、生命科学、半导体等领域的应用,将有效形成新业态、新模式、新动能,成为培育和发展新质生产力的重要引擎。未来,博众仪器将坚定专注于电子束核心技术,不断完善产品线,并通过为业内提供电子束技术应用与服务,赋能产业生态建设。
据了解,BZ-F200透射电镜主要应用在集成电路、材料研发以及前沿科学领域,适用于晶格尺度的结构解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。
透射电子显微领域专家、BZ-F200透射电镜的试用者重庆大学化学化工学院教授张大梁认为,场发射高分辨透射电子显微镜是现代材料研究的核心工具,以BZ-F200透射电镜为代表的电子显微仪器的进步有望加速中国材料科学的新突破。(完)